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碳化硅晶圓表面打磨,用MSIY自動換刀浮動主軸

日期:2024-09-20 05:16
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摘要:3060AQC自動換刀浮動主軸,除了可以實現(xiàn)氣動換刀之外,還可以實現(xiàn)徑向、軸向雙向浮動,浮動力可調(diào)節(jié),可防止過度打磨的情況發(fā)生,有利于保持產(chǎn)品良好的光潔度。 ?

碳化硅晶圓表面打磨,用MSIY自動換刀浮動主軸



   碳化硅晶圓表面打磨拋光,機械臂加裝中西NAKANISHI自動換刀主軸NR3060-AQC搭配MSIY浮動刀柄,功率350W,轉(zhuǎn)速6萬轉(zhuǎn)每分鐘,旋轉(zhuǎn)跳動精度1μm以內(nèi),可實現(xiàn)徑向軸向雙向打磨。



如圖所示,碳化硅晶圓表面打磨,用人工去除效率低,成本高,若采用自動化方式,一能節(jié)省成本,二能提高產(chǎn)品的良品率。這款3060AQC自動換刀浮動主軸是目前在機械臂去毛刺領(lǐng)域比較受歡迎的浮動打磨主軸。



    3060AQC自動換刀浮動主軸,除了可以實現(xiàn)氣動換刀之外,還可以實現(xiàn)徑向、軸向雙向浮動,浮動力可調(diào)節(jié),可防止過度打磨的情況發(fā)生,有利于保持產(chǎn)品良好的光潔度。


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